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电子气是啥

更新时间:2023-01-13      点击次数:1208
  一、电子气(electrongas),是2019年经全国科学技术名词审定委员会审定发布的物理学名词。
 
  二、按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
 
  三、大宗特气系统(BSGS)的及时应用有利于提高污染控制。首先大包装容器保证了气体品质的连续性,降低了多次充装污染风险。另外由于换瓶频率的减少,也减少了污染几率。BSGS多采用了深层吹扫,显著提高了吹扫效果。
 
  四、对于大流量的BSGS,不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响,还要考虑气体经过调压阀减压后的焦耳-汤普逊效应。一般而言,气体减压后,温度会降低,甚至液化。这会照成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。因此需要考虑在减压前对气体进行预热。气体监控系统(GMS)通过计算机网络,实现对气体输送系统的实时监控,以确保系统的稳定性。
 
  五、输送管道一般采用无缝SS316LEP管。施工采用自动轨道焊接,经保压、氦检漏和纯度测试。对于剧毒、高反应性和自燃气体,应使用双套管输送。一些剧毒气体如磷烷、砷烷等,安全输送系统(SDS)正在被广泛使用。其钢瓶内采用负压吸附的方式,用真空法输送,从根本上避免了气体的泄漏。
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