高纯氨分析氦离子色谱仪的工作过程是: 输液泵将流动相以稳定的流速( 或压力) 输送至分析体系, 在色谱柱之前通过进样器将样品导入, 流动相将样品带入色谱柱, 在色谱柱中各组分被分离, 并依次随流动相流至检测器, 抑制型离子色谱则在电导检测器之前增加一个抑制系统, 即用另一个高压输液泵将再生液输送到抑制器, 在抑制器中, 流动相的背景电导被降低, 然后将流出物导入电导检测池, 检测到的信号送至数据系统记录、处理或保存。
高纯氨分析氦离子色谱仪适用于高纯氨中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。
高纯氨分析氦离子色谱仪适用于高纯氨中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等痕量杂质的检测，仪器配备高灵敏度的氦离子化（PDHID）检测器，采用中心切割与反吹技术，配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器，通过无死体积取样或在线进样方式，一次性完成高纯氨中杂质的检测，检测限达ppb级，重复性RSD≤1％。
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