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二氯硅烷分析用氦离子色谱仪

二氯硅烷分析用氦离子色谱仪

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仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统

  • 产品描述

二氯硅烷氦离子色谱仪仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。

                                              项目名称指标
三氯氢硅(SiHCl3 )含量(体积分数)/l0-6                                                                                                  ≤        10
(一氯硅烷+氯化氢)含量(SiH3Cl+HCl)含量”,以氯化氢计(体积分数)/l0-6                                            50
氮(N2)含量(体积分数)/l0-6                                                                                                        1
(氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/l0-6                                                                                          1
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/l0-6                                                                                             1
氢(H2)含量(体积分数)/l0-6                                                                                                      10
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/l0-6                                                                                           1
总烃(THC)含量,以甲烷(CH4)计(体积分数)/l0-6                                                                      1
金属元素及其他元素含量(硼+铝)(B+Al)含量/(µg/kg)                    ≤0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                   ≤0.3
镓(Ga)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
锑(Sb)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
铟(In)含量/(µg/kg)                                    ≤0.1
钙(Ca)含量/(µg/kg)                                   ≤1
铬(Cr)含量/(µg/kg)                                   ≤1
铁(Fe)含量/(µg/kg)                                    ≤5
钾(K)含量/(µg/kg)                                     ≤1
钠(Na)含量/(µg/kg)                                    ≤0.2
镍(Ni)含量/(µg/kg)                                    ≤1
钼(Mo)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
锰(Mn) 含量/(µg/kg)                                  ≤0.2
铜(Cu)含量/(µg/kg)                                   ≤0.2
镉(Cd) 含量/(µg/kg)                                  ≤0.5
钴(Co)含量/(µg/kg)                                   ≤0.5
锌(Zn)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1

 

 

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