二氯硅烷分析用氦离子色谱仪

简要描述：仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统

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二氯硅烷氦离子色谱仪仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化*项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。

项目名称		指标
三氯氢硅(SiHCl₃ )含量（体积分数）/l0^-6^≤		10
(一氯硅烷+氯化氢)含量（SiH₃Cl+HCl）含量”，以氯化氢计（体积分数）/l0^-6≤		50
氮（N₂）含量（体积分数）/l0^-6≤		1
（氧+氩）（O₂+Ar）含量（体积分数）/l0^-6≤		1
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/l0^-6≤		1
氢（H₂）含量（体积分数）/l0^-6≤		10
二氧化碳（CO₂）含量（体积分数）/l0^-6≤		1
总烃（THC）含量，以甲烷（CH₄）计（体积分数）/l0^-6≤		1
金属元素及其他元素含量	（硼+铝）（B+Al）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	（磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg） ≤	0.3
	镓（Ga）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	锑（Sb）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	铟（In）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	钙（Ca）含量/（µg/kg） ≤	1
	铬（Cr）含量/（µg/kg） ≤	1
	铁（Fe）含量/（µg/kg） ≤	5
	钾（K）含量/（µg/kg） ≤	1
	钠（Na）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	镍（Ni）含量/（µg/kg） ≤	1
	钼（Mo）含量/（µg/kg） ≤	0.1
	锰（Mn）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	铜（Cu）含量/（µg/kg） ≤	0.2
	镉（Cd）含量/（µg/kg） ≤	0.5
	钴（Co）含量/（µg/kg） ≤	0.5
	锌（Zn）含量/（µg/kg） ≤	0.1

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