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四氯硅烷分析用氦离子色谱仪

简要描述:四氯硅烷分析用氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。

  • 产品型号:GC-9560-PDD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-06-16
  • 访  问  量: 2317

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详细介绍

四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。


硅(SiHCl3)含量(体积分数)/l0-6                                                                   40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(体积分数)/l0-6                                                                   40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(体积分数)/l0-6                                                         20050
金属元素及其他元素含量(硼+铝)(B+Al)含量/(µg/kg)                          ≤——0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                      ≤——0.3
镓(Ga)含量/(µg/kg)                            ≤——0.5
锑(Sb)含量/(µg/kg)                               ≤——0.5
铟(In)含量/(µg/kg)                              ≤——0.5
钙(Ca)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
铬(Cr)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
铁(Fe)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
钾(K)含量/(µg/kg)                                ≤10.5
钠(Na)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
镍(Ni)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
钼(Mo)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
锰(Mn) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
铜(Cu)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
镉(Cd) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
钴(Co)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
锌(Zn)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
钒(V)含量/(µg/kg)                                ≤10.5





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