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四氟化碳分析氦离子色谱仪

简要描述:氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统

  • 产品型号:GC-9560-PDD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2020-08-25
  • 访  问  量: 2269

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详细介绍

四氟化碳分析氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化*项目。

 

项目指     标 
四氟化碳(CF4)纯度(体积分数)/10-2    ≥99.99999.99599.99
氮(N2)含量(体积分数)/10-6           <42040
氧+氩(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6      <1510
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6    <1510
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6     <0.10.51
六氟化硫(SF6)含量(体积分数)/10-6    <115
水分(H2O)含量(体积分数)/含量,10-6  <3510
酸度(以HF计)含量含量(体积分数)/10-6  <0.10.30.3
其它卤碳化合物a含量(体积分数)/10-6    <11030
总杂质含量(体积分数)/l0-6                        105010
颗粒供需双方商定供需双方商定供需双方商定

其它卤碳化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷等。

 

 

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